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CEM3000抗振防磁掃描電子顯微鏡確保高倍數(shù)下微觀特征（如60nm銀線、錫球焊接缺陷）清晰可辨，數(shù)據(jù)誤差率顯著降低，避免因成像模糊、數(shù)據(jù)失真導(dǎo)致的研發(fā)誤判、質(zhì)檢漏檢等問題。從實驗室到生產(chǎn)線、從車間現(xiàn)場到狹小空間（手套箱/車廂），無論環(huán)境振動、磁場干擾如何變化，均能穩(wěn)定輸出優(yōu)于4nm（SE模式）的高清成像。

?SuperView W1系列中圖儀器白光干涉儀設(shè)備以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

NS系列5Å重復(fù)性臺階高度儀0.01埃分辨率，5Å超高精度精準(zhǔn)測量微觀檢測微觀輪廓。搭載線性可變差動電容傳感器（LVDC），在半導(dǎo)體、光伏、MEMS等精密制造與科研領(lǐng)域一站式解決多場景微觀參數(shù)檢測需求。

中圖儀器CEM3000系列4nm高清快檢掃描電鏡“空間適配+高效精準(zhǔn)+定制適配”的高效檢測硬核基礎(chǔ)，結(jié)合“全周期、快響應(yīng)、強專業(yè)”的售后服務(wù)體系，為采購、使用、維護(hù)提供全周期保障。

中圖儀器VT6000系列微納材料共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域，3D+2D全維測量各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺設(shè)備滿足多維度檢測需求。

中圖儀器CEM3000系列掃描電鏡優(yōu)于4nm空間分辨率（SE模式），60nm銀線等微尺度特征清晰呈現(xiàn)，最高20萬倍放大倍數(shù)，覆蓋納米級觀測需求。用戶可在CEM3000系列60nm銀線微尺度觀測掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進(jìn)行分析。